logo
وی چت
کد QR وی‌چت
+86 13671520516

پنجره ی زعفر مقاوم در برابر خراش Mohs 9 Viewport تجهیزات نیمه هادی

مشخصات محصول
محل مبدا: گوانگدونگ، چین
نام تجاری: ECER Optics
گواهینامه: ISO 9001:2015
شماره مدل: SW-SEM-HARD
حداقل مقدار سفارش: 10 عدد
قیمت: USD 8-50 / Piece
شرایط پرداخت: T/T، پی پال، وسترن یونیون
توانایی تامین: 30000 عدد در ماه
جزئیات محصول
برجسته کردن:

پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خش

,

پنجره تجهیزات نیمه هادی

,

روش های نوری سخت 9

Product Name: پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خش
Application: پردازش ویفر نیمه هادی
Hardness: موهس 9
Material: تک کریستال یاقوت کبود Al2O3
Diameter: سفارشی 10mm - 200mm
Chemical Resistance: مقاوم در برابر اسید، باز و پلاسما
Surface Quality: 60-40 Scratch-Dig
Flatness: لامبدا/4
توضیحات محصول
پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش، نمایشگر تجهیزات نیمه‌هادی با سختی 9 موهس
این پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش برای نمایشگرهای تجهیزات نیمه‌هادی ساخته شده است، جایی که محفظه‌های فرآیند پنجره‌ها را در معرض پلاسما، سایش ذرات و مواد شیمیایی تمیزکننده تهاجمی قرار می‌دهند. این پنجره از یاقوت کبود تک کریستالی با سختی 9 موهس ساخته شده است که تنها پس از الماس قرار دارد و به آن اجازه می‌دهد تا سطح نوری تمیز را بسیار طولانی‌تر از پنجره‌های شیشه‌ای یا کوارتزی حفظ کند.
برای ابزارهای پردازش ویفر که به طور مداوم کار می‌کنند، پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش، زمان خرابی نگهداری را کاهش می‌دهد و تصویربرداری بازرسی را در طول عمر محفظه ثابت نگه می‌دارد. محیط‌های نیمه‌هادی بیش از سختی را می‌طلبند، به همین دلیل این پنجره یاقوت کبود برای مقاومت شیمیایی در برابر اسیدها، بازها و شیمی پلاسما، به علاوه پایداری حرارتی در نوسانات دمای چرخه فرآیند نیز مشخص شده است.
هر پنجره با کیفیت سطح خراش-کنده 60-40 و صافی لامبدا بر 4 پولیش شده است و پروفیل‌های لبه برای جلوگیری از تمرکز تنش در فلنج نصب، سنگ‌زنی و پخ‌زنی شده‌اند. قطر سفارشی از 10 میلی‌متر تا 200 میلی‌متر و ضخامت‌های مطابق با رتبه‌بندی فشار خلاء یا اتمسفر موجود است و هر محموله شامل گواهینامه‌های مواد و سوابق بازرسی ابعادی برای صلاحیت تجهیزات است.
مشخصات فنی
نام محصول پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش
ماده یاقوت کبود تک کریستالی Al2O3
سختی موهس 9
قطر سفارشی 10 میلی‌متر - 200 میلی‌متر
ضخامت سفارشی 1.0 میلی‌متر - 8.0 میلی‌متر
کیفیت سطح خراش-کنده 60-40
صافی لامبدا/4 @ 632.8 نانومتر
مقاومت شیمیایی مقاوم در برابر اسید، باز و پلاسما
کاربرد پردازش ویفر نیمه‌هادی
گواهینامه مطابق با RoHS، ISO 9001:2015
مزایای کلیدی
  • سختی موهس 9 در برابر خراش‌های ناشی از ذرات و پلاسما مقاومت می‌کند
  • بی‌اثر بودن شیمیایی در برابر مواد شیمیایی تمیزکننده تهاجمی محفظه مقاومت می‌کند
  • پایداری حرارتی بدون شکستگی، چرخه دمای فرآیند را تحمل می‌کند
  • لبه‌های پخ‌زنی شده، تمرکز تنش در فلنج نصب را کاهش می‌دهند
  • عمر طولانی، فرکانس تعویض پنجره و زمان خرابی را کاهش می‌دهد
  • گواهینامه‌های مواد از صلاحیت تجهیزات نیمه‌هادی پشتیبانی می‌کنند
  • اندازه‌های سفارشی با پنجره‌های خلاء و اتمسفر فرآیند مطابقت دارند
  • شفافیت نوری ثابت برای بازرسی ویفر از طریق پنجره
پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش بر اساس شرایط واقعی عملیاتی ساخت نیمه‌هادی طراحی شده است: باز و بسته شدن مکرر محفظه، تمیز کردن با پلاسما و جریان ذرات ساینده. داده‌های میدانی از برنامه‌های خدمات تجهیزات نشان می‌دهد که پنجره‌های یاقوت کبود معمولاً در ابزارهای اچ و رسوب‌گذاری چندین برابر بیشتر از کوارتز دوام می‌آورند، که مستقیماً هزینه مالکیت را برای اپراتورهای فب کاهش می‌دهد.
این پنجره همچنین برای صنایع مجاور که مشخصات محیطی سخت مشابهی دارند، از جمله پردازش نمایشگرهای تخت، تولید سلول‌های خورشیدی و سیستم‌های پوشش خلاء مناسب است. مهندسان طراحی راهنمایی نصب را دریافت می‌کنند، از جمله تلرانس‌های فلنج و مواد آب‌بندی توصیه شده، بنابراین پنجره یاقوت کبود مقاوم در برابر خراش بدون بازسازی در طرح‌های پنجره موجود ادغام می‌شود.
پرسش و پاسخ محصول
س: چرا پنجره‌های نیمه‌هادی به یاقوت کبود به جای کوارتز نیاز دارند؟
محفظه‌های فرآیند پلاسما، ذرات و مواد شیمیایی واکنش‌پذیر تولید می‌کنند که به سرعت پنجره‌های کوارتزی را اچ و خراش می‌دهند و مسیر نوری را کدر می‌کنند. یاقوت کبود با سختی موهس 9 در برابر این آسیب برای چرخه‌های طولانی‌تر مقاومت می‌کند و بی‌اثر بودن شیمیایی آن از تخریب توسط مواد تمیزکننده جلوگیری می‌کند. نتیجه، تعویض کمتر پنجره و شرایط بازرسی پایدارتر است.
س: پنجره از چه فشارهایی پشتیبانی می‌کند؟
رتبه‌بندی فشار به قطر، ضخامت و طراحی نصب بستگی دارد. برای پنجره‌های معمولی 25 میلی‌متر تا 100 میلی‌متر، ضخامت‌های 2 میلی‌متر تا 8 میلی‌متر از خلاء تا چندین بار فشار دیفرانسیل پشتیبانی می‌کنند. ما محاسبات ضخامت توصیه شده را برای شرایط خاص محفظه شما ارائه می‌دهیم.
س: آیا پنجره را می‌توان برای ضد انعکاس در محدوده مرئی پوشش داد؟
بله. در حالی که بسیاری از پنجره‌های نیمه‌هادی از یاقوت کبود بدون پوشش برای حداکثر استحکام استفاده می‌کنند، ما می‌توانیم یک پوشش ضد انعکاس بادوام برای طول موج‌های بازرسی مرئی در صورت نیاز به انتقال بالاتر اعمال کنیم. پوشش قبل از انتشار برای قرار گرفتن در معرض پلاسما و مواد شیمیایی تأیید شده است.
س: چه مستنداتی برای صلاحیت تجهیزات ارائه می‌شود؟
هر محموله شامل گواهینامه‌های مواد یاقوت کبود، گزارش‌های بازرسی ابعادی، سوابق کیفیت سطح و اعلامیه‌های RoHS است. برای برنامه‌های واجد شرایط، ما همچنین می‌توانیم داده‌های آزمایش مقاومت شیمیایی در سطح دسته و نتایج چرخه حرارتی را ارائه دهیم.
مرتبط محصولات
با متخصصان ما تماس بگیرید و مشاوره رایگان بگیرید!

ماموریت ما ارائه "کیفیت بالا" و "خدمات خوب" و "تحویل سریع" است تا به مشتریانمان در کسب سود بیشتر کمک کنیم.